氮气纯化设备以深冷法制氮、变压吸附制氮，膜分离制氮的般氮气为质料，经过除氧，冷凝、吸附干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃，取得高纯度的氮气。
       氮气中含量多、坏处 大的成分是氧气，除氧的办法有：1）碳氧反响化学法除氧：选用脱氧剂既作为催化剂，又作为反响物参与反响，反响温和，进程简单，操作稳定。2）氢氧反响化学法除氧：在氮气中配入等比例的氢气，在脱氧剂果下，常温除氧两种办法。
       炭氧反响法除氧方程式：C+O2→CO2 ，生成的二氧化碳是很简单被吸附剂脱除的分子，除氧后的气体通过装有吸附剂的吸附塔，除去二氧化碳、水等杂质得到高纯氮气。氢氧反响法脱氧方程式：2H2+O2→2H2O，生成的水被干燥剂脱除得到高纯氮气。两种办法各有长处，氢氧法反响温和，常温就能除氧，缺点需要配入氢气，存在安全隐患，在没有氢源的地方无法完结除氧进程。炭氧法不需要配入其它介质，无安全无隐患，需要在280度下完结脱氧进程。